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四氟化碳供應商-譜純氣體|氣源充足(在線咨詢)

安徽譜純氣體科技有限公司
  • 經營模式:生產加工
  • 地址:合肥市經開區(qū)翡翠路天時廣場二期2204室
  • 主營:氣體,特種氣體
業(yè)務熱線:15755114169
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    • 產品品牌:安徽譜純
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    四氟化碳供應商-譜純氣體|氣源充足(在線咨詢):
    合肥激光氣體,合肥特種氣體,安徽準分子預混氣

    四氟化碳物理性質 :

       熔點-183.6℃,

       分子式是CF4,

      沸點-128.1℃,

      液體密度(-130℃)1.613g/cm3,

      液體折光率(-173℃)1.515,

      固體轉變點72.2K,

      臨界溫度-45.67℃,

      臨界壓力3.73MPa,

       蒸氣壓(-150.7℃)13.33kPa

      介電常數(25℃,0.5MPa)1.0006

      臨界密度:7.1dm3/mol

      標準摩爾自由能:-929.84 kJ/mol

      標準摩爾生成自由能:-887.41 kJ/mol

       危險性類別:第2.2類不燃氣體









    由碳與氟反應,或一氧1化碳與氟反應,或碳化硅與氟反應,或氟石與石油焦在電爐里反應,或二氟二氯甲1烷與氟化1氫反應,或四氯化1碳與氟化銀反應,或四氯1化碳與氟化1氫反應,都能生成四氟化1碳。吸入四氟1化碳的后果與濃度有關,包括頭1痛、惡心、頭昏眼花及心1血管系統的破壞(主要是心臟)。長時間接觸會導致嚴重的心臟破壞。對于硅和二氧化硅體系,采用CF4-O2反應離子刻蝕時,通過調節(jié)兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時很有用。




    四氟化碳(CF4)在電離后會產生含成分的刻蝕性氣相等離子體,能夠對各種有機表面實現刻蝕及有機物去除,在晶圓制造、線路板制造、太陽能電池板制造等行業(yè)中被廣泛應用。以活性炭與氟為原料經氟化反應制備。在裝有活性炭的反應爐中,緩緩通入高濃氟氣,并通過加熱器加熱、供氟速率和反應爐冷卻控制反應溫度。四氟化碳是一種鹵代烴,化學式CF4。它既可以被視為一種鹵代烴、全氟化碳,也可以被視為一種無機化合物。零下198 °C時,四氟化碳具有單斜的結構,晶格常數為a = 8.597, b= 4.433, c = 8.381 (.10-1?nm), β = 118.73° 。

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