譜純氣體|老牌企業(yè)(圖)-電子特種氣體-武漢特種氣體：

 特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過(guò)流開(kāi)關(guān)、風(fēng)壓事故報(bào)警、、壓力監(jiān)測(cè)及報(bào)警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)三類。包裝標(biāo)志：有毒氣體。常溫下，干氯不腐　蝕鋼｛但在水和濕氣存在時(shí)，由于生成鹽酸和次氯酸。所以呈強(qiáng)腐蝕性應(yīng)保持設(shè)備中無(wú)　水，管路、閥門和容器不用時(shí)應(yīng)密封或加帽，從而與大氣中的濕氣隔離滅菌特種氣體的主要成分是環(huán)氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯，環(huán)氧乙1烷可殺滅細(xì)1菌（及其內(nèi)孢子）、霉菌及真1菌，因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。

 對(duì)特氣的危害性進(jìn)行分析,通過(guò)本質(zhì)安全設(shè)計(jì),消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對(duì)特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進(jìn)行評(píng)估。管道設(shè)計(jì)應(yīng)進(jìn)行保壓和氦測(cè)漏,確保系統(tǒng)密閉性。特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽(yáng)能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20～30 種。根據(jù)有關(guān)數(shù)據(jù)顯示，中國(guó)特種功能電子氣體市場(chǎng)規(guī)模逐年增長(zhǎng)，僅2016年，中國(guó)特種電子氣體市場(chǎng)規(guī)模約為98億元左右。值得關(guān)注的是，從產(chǎn)業(yè)鏈以及技術(shù)層面歐美國(guó)家占據(jù)較好的地位。

特種氣體的重要性：電子特種氣體決定了集成電路的終良率和可靠性。由于電子氣體用途多，用量大。所以電子氣體也直接決定了 終芯片的良率和可靠性，特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：高壓容器內(nèi)，存有內(nèi)容物時(shí)，無(wú)論內(nèi)容量多少，在該容器儲(chǔ)存場(chǎng)地2m內(nèi)，嚴(yán)禁明火或放置燃、可燃物。場(chǎng)所的環(huán)境溫度≤40℃為佳。電子特種氣體是集成電路、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽(yáng)能電池等半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)制造過(guò)程中不可或缺的關(guān)鍵性化工材料，被廣泛的應(yīng)用 于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。

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