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氣體激光器的重要特點(diǎn)之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進(jìn)行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦（He）氖（Ne）激光作為代氣體激光，二氧化碳激光混合氣體是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆矗↘rF）激光，可稱為第三代激光。一方面氬激光很少見，另一方面為了便于稱號，人們常將氬離子激光簡稱為氬激光。不光中文敘說如此，英文文獻(xiàn)亦見此用法，所以在不致混雜的時(shí)候，仍可用氬激光稱號氬離子激光。

激光氣體中的發(fā)生氣體時(shí)激光發(fā)生器上用來產(chǎn)生激光的氣體，對氣體質(zhì)量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達(dá)99.999%，高純氮?dú)獾募兌?9.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產(chǎn)生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮?dú)馐瞧胶鈿怏w，氣體中的水分、氧份、有機(jī)氣體雜質(zhì)對激光機(jī)的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機(jī)對這些氣體的質(zhì)量要求特別高。近年來CO2激光加工設(shè)備雖然漸趨普及，但激光畢竟是一種新的工具，激光加工技術(shù)亦不同于傳統(tǒng)的加工方法，所以工業(yè)界在引進(jìn)使用CO2激光器的過程中，曾經(jīng)遇到各種各樣的問題，給很多廠商造成不少困擾。激光切割領(lǐng)域較長使用的二氧化碳激光混合氣體，這里二氧化碳就是產(chǎn)生激光作用的主導(dǎo)氣體。二氧化碳激光混合氣體目前存在切割線粗，毛邊多，并且切割鋼板的厚度很有限，一般都在10mm左右。

準(zhǔn)分子(Excimer)激光：準(zhǔn)分子一詞的本意，是「兩個(gè)同種原子組成，而只存在于受激態(tài)的分子」，如稀有氣體分子He2、Ar2、Xe2等；其英文原名為 Excited Dimer 組合成的術(shù)語?，F(xiàn)在現(xiàn)已將它的適用范圍放寬，以包含「不存在于基態(tài)，只以受激態(tài)出現(xiàn)的任何雙原子分子(有時(shí)還包含三原子分子)」。分子氣體：二氧化碳激光和氮?dú)饧す馐浅Ｒ姷姆肿託怏w激光，其主要激光光分屬紅外線(10,640 nm)及紫外線(337 nm)。生物組織中的水分會吸收它的10,640 nm激光光，所以能用于手術(shù)，所需激光光功率約為50W。此外，非金屬材料的加工、金屬表面的熱處理、光譜學(xué)及光化學(xué)研討、環(huán)境遙測、測距、激起其他激光、發(fā)生離子體(俗稱電漿；Plasma)等，也都可用二氧化碳激光來進(jìn)行。激光氣體中的發(fā)生氣體時(shí)激光發(fā)生器上用來產(chǎn)生激光的氣體，對氣體質(zhì)量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達(dá)99.999%，高純氮?dú)獾募兌?9.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產(chǎn)生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮?dú)馐瞧胶鈿怏w，氣體中的水分、氧份、有機(jī)氣體雜質(zhì)對激光機(jī)的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機(jī)對這些氣體的質(zhì)量要求特別高。

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