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氣體激光(Gaseous laser)，以氣體為自動(dòng)介質(zhì)的激光中，包含中性原子激光、離子氣體激光、金屬蒸汽激光、分子氣體激光、準(zhǔn)分子激光。氣體激光器的重要特點(diǎn)之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)的存在將導(dǎo)致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會(huì)引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。因此，對(duì)激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進(jìn)行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光，可稱為第三代激光。 Au,Cu,Ba,Sn,Pb,Zn等金屬的蒸汽，都是中性原子激光的自動(dòng)介質(zhì)。它們的蒸汽中，?；烊氲蛪毫Φ亩栊詺怏w，以提高放電效率。

如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光，可稱為第三代激光。激光切割輔助氣體主要是干燥空氣、高純氮?dú)饣蚬I(yè)氧氣，當(dāng)切割不銹鋼板或是切割鋁板時(shí)一般使用高純氮?dú)庾鳛檩o助氣體，一般壓力要求比較高。 激光混合氣中的發(fā)生氣體是激光發(fā)生器上用來(lái)產(chǎn)生激光的氣體，對(duì)氣體質(zhì)量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達(dá)99.999%，高純氮?dú)獾募兌?9.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產(chǎn)生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮?dú)馐瞧胶鈿怏w，氣體中的水分、氧份、有機(jī)氣體雜質(zhì)對(duì)激光機(jī)的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機(jī)對(duì)這些氣體的質(zhì)量要求特別高。

Au,Cu,Ba,Sn,Pb,Zn等金屬的蒸汽，都是中性原子激光的自動(dòng)介質(zhì)。它們的蒸汽中，常混入低壓力的惰性氣體，以提高放電效率。激光切割機(jī)用的激光混合氣體，二維激光切割機(jī)床用的四元激光混合氣體，主要用于鋼材的鈑金加工。重要的準(zhǔn)分子激光，以稀有氣體的鹵化物為自動(dòng)介質(zhì)，如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因?yàn)槭芗B(tài)常以星號(hào)(*)上標(biāo)表示，所以有些數(shù)據(jù)上寫成ArF*等。準(zhǔn)分子不會(huì)天然出現(xiàn)，而是在氣體混合物中放電時(shí)形成的。

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