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如果將氦（He）氖（Ne）激光作為代氣體激光，二氧化碳激光混合氣體是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆矗↘rF）激光，可稱為第三代激光。氣體激光器的重要特點(diǎn)之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)的存在將導(dǎo)致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會(huì)引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。因此，對(duì)激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進(jìn)行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光，可稱為第三代激光。 一方面氬激光很少見，另一方面為了便于稱號(hào)，人們常將氬離子激光簡(jiǎn)稱為氬激光。不光中文敘說(shuō)如此，英文文獻(xiàn)亦見此用法，所以在不致混雜的時(shí)候，仍可用氬激光稱號(hào)氬離子激光。

如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光，可稱為第三代激光。激光切割輔助氣體主要是干燥空氣、高純氮?dú)饣蚬I(yè)氧氣，當(dāng)切割不銹鋼板或是切割鋁板時(shí)一般使用高純氮?dú)庾鳛檩o助氣體，一般壓力要求比較高。 激光混合氣中的發(fā)生氣體是激光發(fā)生器上用來(lái)產(chǎn)生激光的氣體，對(duì)氣體質(zhì)量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達(dá)99.999%，高純氮?dú)獾募兌?9.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產(chǎn)生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮?dú)馐瞧胶鈿怏w，氣體中的水分、氧份、有機(jī)氣體雜質(zhì)對(duì)激光機(jī)的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機(jī)對(duì)這些氣體的質(zhì)量要求特別高。

準(zhǔn)分子(Excimer)激光：準(zhǔn)分子一詞的本意，是「兩個(gè)同種原子組成，而只存在于受激態(tài)的分子」，如稀有氣體分子He2、Ar2、Xe2等；其英文原名為 Excited Dimer 組合成的術(shù)語(yǔ)?，F(xiàn)在現(xiàn)已將它的適用范圍放寬，以包含「不存在于基態(tài)，只以受激態(tài)出現(xiàn)的任何雙原子分子(有時(shí)還包含三原子分子)」。銅蒸汽激光產(chǎn)品可發(fā)生100W以上的綠光(511 nm)及黃光(578 nm)，金蒸汽激光則可得數(shù)十瓦的紅光 (628 nm)。這兩種激光有很多用途，例如血紫質(zhì)衍生物(Hemoporphyrin derivative)吸收光譜的峰值約為628 nm，而癌細(xì)胞能吸收此物質(zhì)。此物質(zhì)受到628 nm的激光光照耀后會(huì)分化，發(fā)生可癌細(xì)胞的物質(zhì)。不過(guò)，銅蒸汽激光激起染料激光，也可得到這種光，而不必依托金蒸汽激光。此外，578 nm的激光能夠除去某些胎記，作用優(yōu)于用氬離子激光。分子氣體：二氧化碳激光和氮?dú)饧す馐浅Ｒ姷姆肿託怏w激光，其主要激光光分屬紅外線(10,640 nm)及紫外線(337 nm)。生物組織中的水分會(huì)吸收它的10,640 nm激光光，所以能用于手術(shù)，所需激光光功率約為50W。此外，非金屬材料的加工、金屬表面的熱處理、光譜學(xué)及光化學(xué)研討、環(huán)境遙測(cè)、測(cè)距、激起其他激光、發(fā)生離子體(俗稱電漿；Plasma)等，也都可用二氧化碳激光來(lái)進(jìn)行。

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