重要的準(zhǔn)分子激光,以稀有氣體的鹵化物為自動介質(zhì),如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因為受激態(tài)常以星號(*)上標(biāo)表示,所以有些數(shù)據(jù)上寫成ArF*等。準(zhǔn)分子不會天然出現(xiàn),而是在氣體混合物中放電時形成的。激光混合氣中的發(fā)生氣體是激光發(fā)生器上用來產(chǎn)生激光的氣體,對氣體質(zhì)量要求高,激光混合氣配制精度要求高,高純二氧化碳純度達(dá)99.999%,高純氮氣的純度99.999%,高純氦氣的純度要求99.999%,二氧化碳是產(chǎn)生激光的,氦氣是冷卻激光器的,氮氣是平衡氣體,氣體中的水分、氧份、有機(jī)氣體雜質(zhì)對激光機(jī)的鏡片損傷特別大,能快速減少鏡片的壽命。所以激光機(jī)對這些氣體的質(zhì)量要求特別高。20W機(jī)型可發(fā)生275.4至1090.0 nm的一些激光光。主要的可見光波長分別是514.5、501.7、496.5、 488.0、476.5、472.7、465.8、457.9、454.5 nm。藍(lán)綠光波段中,而的是514.5及488 nm。氪離子激光可發(fā)生337.4至799.3 nm,的是647.1 nm,其次為413.1及530.9 nm。產(chǎn)品中,有將氬氣與氪氣混合的機(jī)型。
氣體激光器的重要特點之一,激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體因此,對激光混合氣組分的純度有著特殊要求,包裝混合氣的鋼瓶,充裝前也必須進(jìn)行干燥處理,防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光,二氧化碳激光混合氣體是第二代氣體激光,在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆矗↘rF)激光,可稱為第三代激光。一方面氬激光很少見,另一方面為了便于稱號,人們常將氬離子激光簡稱為氬激光。不光中文敘說如此,英文文獻(xiàn)亦見此用法,所以在不致混雜的時候,仍可用氬激光稱號氬離子激光。
激光切割機(jī)用的激光混合氣體,二維激光切割機(jī)床用的四元激光混合氣體,主要用于鋼材的鈑金加工。中性原子激光與離子氣體激光的差別,在于前者的激光光來自中性原子能階之間的躍遷,后者是離子的能階( 如Ar+,Kr+ )間之躍遷。因此,氬激光(Argon laser)與氬離子激光(Argon ion laser)并不相同,前者的激光光波長屬于紅外線波段,后者則在可見光和紫外線區(qū)。金屬蒸汽離子激光中,氦鎘(He-Cd)激光是的,氦硒(He-Se)、氦鋅(He-Zn)等激光為此家族中之成員。氦鎘激光的325 nm紫外線,和441.6 nm藍(lán)光,是常見的輸出。加上特殊設(shè)計時,它可同時發(fā)生紅光(635.6及636.0 nm)和綠光(533.7及537.8 nm)。它的短波長成分,在信息處理方面很有用。適當(dāng)調(diào)配各波長的輸出,幾乎能夠發(fā)生一切可見光的顏色,因此它的白光激光產(chǎn)品也是有名的。儲存密度及鑒別能力的提高,使它在量度、查驗、記載、印刷等方面有許多使用。
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