特種氣體 specialily gas:用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。目前,國內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達(dá)150余家,多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小。跨國企業(yè)已經(jīng)在國內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨(dú)資的氣體公司,占國內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場(chǎng)份額的70%左右。特種氣體應(yīng)用于國民經(jīng)濟(jì)的很多行業(yè), 它在電子行業(yè)、石油化工、醫(yī)1藥等各領(lǐng)域發(fā)揮著巨大的作用。我國特種氣體經(jīng)過30余年的發(fā)展, 無論在氣體品種上,還是在數(shù)量上, 都以的速度發(fā)展, 生產(chǎn)的品種基本上滿足了市場(chǎng)的需求。
特種氣體應(yīng)用于國民經(jīng)濟(jì)的很多行業(yè), 它在電子行業(yè)、石油化工、醫(yī)1藥等各領(lǐng)域發(fā)揮著巨大的作用。我國特種氣體經(jīng)過30余年的發(fā)展, 無論在氣體品種上,還是在數(shù)量上, 都以的速度發(fā)展, 生產(chǎn)的品種基本上滿足了市場(chǎng)的需求。滅菌特種氣體的主要成分是環(huán)氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯,環(huán)氧乙1烷可殺滅細(xì)1菌(及其內(nèi)孢子)、霉菌及真1菌,因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體,另一類為混合氣體。對(duì)于單元高純氣體,根據(jù)現(xiàn)已收集到的文獻(xiàn),匯總起來共有227種,可分成五個(gè)類別。
特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng):為防止高壓容器跌倒、滾落、損壞、閥門泄漏等造成安全隱患,存放場(chǎng)地需平坦,操作需謹(jǐn)慎、輕柔;并用鏈條、繩索等將其固定在靠墻等堅(jiān)固位置。特種氣體的重要性:正是因?yàn)殡娮託怏w在集成電路制造中的使用量大,應(yīng)用范圍廣的特點(diǎn)。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與可靠性等等。所以電子氣體也被譽(yù)為集成電路制造中的“血液”。特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體三大類,電子特種氣體(簡稱電子特氣)是特種氣體的 一個(gè)重要分支,是超大規(guī)模集成電路(IC)、平面顯示器件(LCD、LED、OLED)、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不 可或缺的原材料。
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